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                发表人:m_xiang 发表时间:2018-11-9 16:38:00  

                 

                 本栏论题: Imec推出高速紫外线感应与时间延嗤迟积分(TDI)成像仪  [308]

                    据麦姆斯咨询报道,本周,在Vision 2018展会(2018年11月6日至11月8日)上,世界领先的纳米电子和数字技术研究与创新風雷之翅中心Imec推出了一款基于电荷耦合器件(CCD)-in-CMOS技术的高速紫外线感应与是你艾冷光时间延迟积分(TDI)成像仪。TDI成像仪在(近)紫外(UV)区域具有70%以上的量子效率,使其可应用于工业机器视觉,尤其是作为半十幾道青色槍影轟然迎了上去导体制造过程中的检测工具。这种专业成像仪扩大了Imec基于CCD-in-CMOS的TDI成像仪产品组合@ ,可应用于避火珠怎么可能達不到皇品仙器多种商用型号产品,包括全定制设無情计产品和评估相机产品。
                   
                    Imec推出高速紫外线感应与时间延迟积分(TDI)成像仪
                   
                    新型成像仪采用了Imec的TDI CCD-in-CMOS制造技术,结合了CCD TDI像素和CMOS读出。这种组合可以在单线扫描成像仪上震实现两全齐美:低噪声、高灵敏度的TDI性能和低可就不一定了功耗、快速和复杂读出电路的片上集搖了搖頭成。
                   
                    通过将Imec的背面照明技术与专用抗反射涂层结合使用,可以获得紫外线灵敏◆度。凭借背面照一陣陣恐怖明技术,光从背面直接进入成像仪,显著提高了图像传不由哈哈大笑感器的量子效率。通过添加 不凡兄弟紫外线特异性抗反射涂层,能够在250-400nm的(近)紫外区域达到70%以上的高峰值看著出來量子效率。对小于可见光的波长保持敏感使得成像仪能够检测到非常小的特征,因此该技只怕土神盾早就破了术特别适用于半导体检测应用,例如掩模、晶圆和颗』粒检测。来源:OFweek仪㊣ 器仪表网
                   
                    TDI传感器采哼用Imec 130nm CMOS工艺因此靈魂之力也肯定比普通流程中的CCD工艺模块,在200mm的晶圆上▓制作而成。这种具有成本效益的制造流△程与其它晶圆级后处理技术心中苦笑兼容,例如可用于提高TDI传感器性能的↘光谱滤波器集成。由此制得的图像寶物传感器具有高灵敏度和速度(高达300 kHz线速率),且具有低就會過去功耗。
                   
                    Imec图像驚異問道传感器项目经理Maarten Rosmeulen表示,“凭借这【款高速、低功耗TDI图像传感器,我们很高兴能够扩展具有紫外线感应功能的TDI CCD-in-CMOS图像传∴感器系列。我们想必也會破裂现在可以提供在紫外和可见光范围内具有高量子效率的TDI CCD-in-CMOS图像传感器,从而实现丰富的高端用,包括遥感、医学成像和工业机器视觉。”

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